电子厂房采用喷淋室主要目的是去除AMC、VOC并兼具加湿功能，通过喷淋室前后的加热与制冷盘管进行温湿度控制，采用纯水进行有害气体的吸收，因此需要使用喷水量较大的air washer喷淋室。 

电子厂房采用化学过滤目的是针对SO2、NH3等气体和挥发性有机物等分子污染物进行吸收。保证了整机对分子污染的去除效率。